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透射電鏡的組成結構分幾部分?
點擊次數:1709 更新時間:2021-06-15
1、電子光學部分
整個電子光學部分*置于鏡筒之內,自上而下順序排列著電子槍、聚光鏡、樣品室、物鏡、中間鏡、投影鏡、觀察室、熒光屏、照相機構等裝置。根據這些裝置的功能不同又可將電子光學部分分為照明系統、樣品室、成像系統及圖像觀察和記錄系統。
(1)照明系統
照明系統由電子槍、聚光鏡和相應的平移對中及傾斜調節(jié)裝置組成。它的作用是為成像系統提供一束亮度高、相干性好的照明光源。為滿足暗場成像的需要照明電子束可在2-3度范圍內傾斜。
①電子槍
它由陰極、柵極和陽極構成。在真空中通電加熱后使從陰極發(fā)射的電子獲得較高的動能形成定向高速電子流。
②聚光鏡
聚光鏡的作用是會聚從電子槍發(fā)射出來的電子束,控制照明孔徑角、電流密度和光斑尺寸。
(2)樣品室
樣品室中有樣品桿、樣品杯及樣品臺。
(3)成像系統
成像系統一般由物鏡、中間鏡和投影鏡組成。物鏡的分辨本領決定了電鏡的分辨本領,中間鏡和投影鏡的作用是將來自物鏡的圖像進一步放大。
(4)圖像觀察與記錄系統
該系統由熒光屏、照相機、數據顯示等組成。
2、真空系統
真空系統由機械泵、油擴散泵、換向閥門、真空測量儀奉及真空管道組成。它的作用是排除鏡筒內氣體,使鏡筒真空度至少要在托以上。如果真空度低的話,電子與氣體分子之間的碰撞引起散射而影響襯度,還會使電子柵極與陽極間高壓電離導zhi極間放電,殘余的氣體還會腐蝕燈絲,污染樣品。
3、供電控制系統
加速電壓和透鏡磁電流不穩(wěn)定將會產生嚴重的色差及降低電鏡的分辨本領,所以加速電壓和透鏡電流的穩(wěn)定度是衡量電鏡性能好壞的一個重要標準。
透射電鏡的電路主要由高壓直流電源、透鏡勵磁電源、偏轉器線圈電源、電子槍燈絲加熱電源,以及真空系統控制電路、真空泵電源、照相驅動裝置及自動曝光電路等部分組成。另外,許多高性能的電鏡上還裝備有掃描附件、能譜議、電子能量損失譜等儀器。
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